Die DC-Sputterstromversorgungen sind sehr kompakt aufgebaute Gleichspannungsgeneratoren in den Leistungsbereichen von 1kW DC bis zu 30kW DC.
Die Generatoren sind ideal sowohl zur Versorgung von kleinen Magnetrons in Produktions- und Laboranlagen als auch von Magnetrons in Großflächenbeschichtung zur Abscheidung von leitfähigen Materialien.
Das integrierte ARC-Handling arbeitet extrem schnell und vollautomatisch, so dass keine Parameter eingestellt werden müssen. Durch ein spezielles Schaltungskonzept lassen sich die Generatoren parallel schalten, wodurch eine Leistungserhöhung bis auf 240kW DC möglich ist.
Die DC-Sputterstromversorgungen sind besonders geeignet für einfachere Sputterprozesse insbesondere für Single-Magnetron als auch Dual-Magnetron zur Abscheidung von elektrisch leitfähigen Substraten, z.B.: Beschichtung von Solarglas oder Architekturglas.
GS 15/1000
GSW 300/1000
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