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HiPIMS Puls-Plasmageneratoren MAGPULS HPP

Datenblatt

HIPIMS PULS-STROMVERSORGUNGEN TYP MAGPULS HPP

Die Puls-Stromversorgungen der Serie MAGPULS HPP erzeugen - dank der kurzzeitig extrem hohen Strompulse - eine hochdichte Plasma-Intensität, wodurch eine hervorragende Beschichtungsqualität beim Hochleistungs-Impuls-Sputtern (HiPIMS) erreicht wird.

• Hervorragende Schichteigenschaften bezüglich Verschleißschutz, Haftfestigkeit, Härte und

Homogenität

• Einfache Integration in bestehende Magnetron-Sputtersysteme

HIPIMS 2 - 3 kV

EINSATZGEBIETE

EIGENSCHAFTEN UND NUTZEN

MODELLÜBERSICHT

EINSATZGEBIETE:

Neuartige PVD HiPIMS Sputterverfahren zur Erzeugung von Hartstoffschichten mit besonders guten Verschleiß- und Korrosionsschutzeigenschaften.

Pulsleistungen bis zu 12MW erzeugen eine extrem hohe Ionisationsdichte ohne dabei Materialtröpfchen (Droplets) zu bilden. Weitere Einsatzmöglichkeiten sind in der Plasma-Vorbehandlung von Oberflächen und Trench-filling und Ätzen.

EIGENSCHAFTEN UND NUTZEN:

Aktive ARC-Unterdrückung -> Vermeidung von Tropfenbildung bei erstklassiger Oberflächengüte

Limitierung des Pulsstroms -> Einfache Anpassung an die verschiedenen Prozessbedingungen zur Vermeidung von Überhitzungen am Substrat oder Magnetron

Pulsleistungen bis zu 12MW -> Ausgezeichnete Flexibilität für Prozesse in Forschung und Industrie

Regelung der Puls- und Pulspausezeiten -> Optimale Prozessstabilität und Schichtkontrolle

MODELLE	MAX. PULS-LEISTUNG	PULS-STROM	SPANNUNG	FREQUENZ	PULSDAUER
MP2-HC 200	10kW DC	0–200A	0–1000V	100kHz	5µs–300µs
MP2-HC 400	20kW DC	0–4000A	0–1000V	50kHz	5µs–300µs
MP2-HC 600	30kW DC	0–600A	0–1000V	50kHz	5µs–300µs
MP2-HC 1000	60kW DC	0–1000A	0–1000V	50kHz	5µs–300µs
MP2-HC 1500	90kW DC	0–1500A	0–1000V	50kHz	5µs–300µs

Stromversogungen

Geschätsführer:

Dipl. Ing. Dieter Schorn

Im Unterfeld 19

D-76547 Sinzheim

E-Mail.:

info@magpuls.net

Tel.:

+49 (0)7221 987 850

Fax.:

+49 (0)7221 987 454