Die unipolaren Pulsstromgeneratoren sind modular aufgebaut und bestehen aus einer DC-Leistungseinheit und der eigentlichen Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz auf das Plasmasystem schaltet.
Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.
Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Parameterwerte über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus über einen externen Rechner gesteuert werden.
Die unipolaren Pulsstromgeneratoren der Serie MAGPULS UP sind für anspruchsvolle Plasmaprozesse mit hohem
ARC-Verhalten bestens geeignet. Durch ihren weiten Leistungsbereich liefern sie höchste Leistungen und eignen sich für die folgenden Anwendungen:
• Bias-Versorgung für PE-CVD- und PVD-Prozesse
• Puls-Plasma Nitrieren
• Single Magnetron Sputtern
MP1-35
MP1-100
MP1-200
MP1-400
Geschäftsführer
Dipl. Ing. Dieter Schorn
E-Mail
info@magpuls.net
Im Unterfeld 19
D-76547 Sinzheim
Telefon
+49 (0)7221 987 850
Fax
+49 (0)7221 987 454
