Puls-Plasmageneratoren bipolar MAGPULS BP

BIPOLARE PULSSTROMVERSORGUNGEN DER SERIE MAGPULS BP

 

Die bipolaren Pulsstromgeneratoren dienen zur Plasmaanregung auf höchstem Niveau. Mit ihrem modularen Aufbau bestehen sie aus der DC-Leistungseinheit und der nachgeschalteten bipolaren Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz mit wechselnder Polarität auf das Plasmasystem schaltet.

 

Mit einem Leistungsbereich von 1kW bis zu 600KW und dem einstellbaren Frequenzbereich von DC bis zu 100kHz bieten diese Pulsstromgeneratoren ein flexibles Angebot für alle Sputteranwendungen sowie höchst anspruchsvolle Plasma-CVD- und PVD-Prozesse. Im Gegensatz zu vielen MF-Generatoren kommen die MAGPULS BP Generatoren ohne zusätzliche Anpassungsnetzwerke aus. Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.

 

Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Pulsstromversorgungen über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus durch einen externen Rechner gesteuert werden.

EINSATZGEBIETE

EIGENSCHAFTEN UND NUTZEN

MODELLÜBERSICHT

EINSATZGEBIETE:

 

Die bipolaren Pulsstromgeneratoren der Serie MAGPULS BP sind für alle anspruchsvollen Plasmaprozesse mit höchstem Anspruch geeignet. Durch den weiten Leistungsbereich und der frei einstellbaren Pulsfrequenz eignen sich diese Pulsstromgeneratoren hervorragend zur Plasmaanregung bei der Herstellung von dekorativen Schichten, Hartstoffbeschichtungen, in der Herstellung von Flachbildschirmen sowie für großflächige Sputteranwendungen, insbesondere Doppel-Magnetron-Sputtern, für Architekturglas, Folien- und Textilbeschichtung.

EIGENSCHAFTEN UND NUTZEN:

 

Frequenz- und Pulsparameter frei für positive -> universeller Einsatz und negative Polarität einstellbar an unterschiedlichen Prozessen mit einem Generator

 

5 Pulsmodi von DC über unipolaren Pulsmod -> Flexibel über alle Prozesse - bis bipolaren Pulsmodforderungen durchgängig einstellbar

 

Spannungsregelung von 10V bis 1000V -> Höchste Flexibilität bei Bias unterstützten Beschichtungsprozessen mit Plasma, Vorbehandlung durch Plasma Ätzen oder Reinigen

 

Präzise ARC-Erkennung und -Abschaltung -> Vermeidung von Tröpfchenbildung und Oberflächendefekten

 

Schnelle DSP-Kontrolle -> Hohe Prozessstabilität

MODELLE MAX. LEISTUNG PULS-STROM SPANNUNG MAX. DC STROM FREQUENZ
MP2-35 6kW 0–35A Pulse 0–1000V 10A DC DC/0.5Hz–100kHz
MP2-60 10kW 0–60A Pulse 0–1000V 20A DC DC/0.5Hz–100kHz
MP2-100 20kW 0–100A Pulse 0–1000V 40A DC DC/0.5Hz–100kHz
MP2-200 40kW 0–200A Pulse 0–1000V 80A DC DC/0.5Hz–100kHz
MP2-400 75kW 0–400A Pulse 0–1000V 150A DC DC/0.5Hz–75kHz

Siehe auch Puls-Plasmageneratoren unipolar >>

MAGPULS

Stromversogungen

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